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Estación de limpieza manual SM-MCP-200
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Estación de limpieza manual SM-MCP-200

Modelo de producto:

SM-MCP-200

Descripción del producto

Equipo dedicado para la limpieza y el procesamiento manual en húmedo de obleas. Su función principal es permitir que los operadores utilicen disolventes orgánicos (como acetona, etanol, NMP, etc.) o disolventes inorgánicos (SPM, SC₁, SC₂) para eliminar contaminantes de la superficie de la oblea —tales como fotorresistencias, partículas, impurezas metálicas y sustancias orgánicas residuales— mediante procedimientos manuales específicos que incluyen remojo, enjuague y limpieza con toallitas.
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Detalles del producto

Características del dispositivo:
1. Equipado con 3 tanques de cuarzo y 2 tanques QDR de PVDF

2. Soporte para tarjetas de oblea dedicado, estándar lavable de 3 pulgadas/6 pulgadas/8 pulgadas *1

3. Unidad opcional de protección contra incendios: detección IR (punto de inflamación) / TH (detección térmica), certificación 3C

4. La puerta frontal de operación del equipo cuenta con un diseño integrado de presión y deslizamiento (con una ventana de vidrio transparente resistente a explosiones).

5. Dos sistemas de escape de alta capacidad, válvulas ajustables manualmente, alarma de baja presión de aire y manómetro de presión diferencial.

6. Interbloqueo de seguridad para calefacción, protección contra fugas

 

Parámetros del dispositivo

Tipo de especificación Banco de limpieza orgánico / Banco de limpieza inorgánico Ranura QDR Cantidad: 2; diseño real basado en volumen; material PVDF.
Dimensiones de la máquina 1800 mm × 1200 mm × 1950 mm Nombre del medicamento DIW
Tanque de proceso Cantidad: 3, Volumen: 16 L, Hecho de cuarzo Temperatura del proceso RT
Nombre del medicamento Líquido orgánico Monitoreo del nivel de líquido Sensor de nivel de N₂ de múltiples etapas
Temperatura del proceso RT～80℃ ±3℃ Valor de resistencia al agua Medidor externo de resistencia al agua
Método de calefacción Calentamiento en baño de agua Rociador superior Pulverización izquierda-derecha
Detección de temperatura PT100*2 Burbujeo de N₂ La distribución de burbujas en el fondo del tanque es uniforme, y el tamaño de las burbujas puede ajustarse mediante un regulador de presión manual.
Monitoreo del nivel de líquido Sensor de nivel de N₂ de múltiples etapas Estructura de canal Sobrecarga + Bajada rápida
Cubierta de ranura Tapa de tanque manual de PVDF Tiempo de ordenación rápida Todo el tanque puede ser vaciado en 5 segundos.
Material de válvulas y tuberías PFA Suministro de agua El suministro de agua de la fábrica ha completado el reabastecimiento superior e inferior.
Ultrasonido 40 kHz, 600 W (potencia ajustable) Emisión Utilidades de plantas de descarga por gravedad: tuberías separadas para aguas residuales líquidas y agua reciclada.
Modo de suministro de ácido Suministro manual de ácido /
Emisión Descarga por gravedad para servicios de planta: los líquidos residuales y las aguas residuales fluyen a través de tuberías separadas. /

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